据最新消息，美国国防部(暨五角大楼)已正式批准上海中芯国际、上海宏力半导体两家中国大陆半导体业者从美进口用于0.18微米以下高阶制程的微影设备。
因为根据瓦圣那协议(WA，Wassenaar Arrangement)内容规定，由于微影设备能够用于导弹导航装置等军事用途，所以美方禁止向中国等国家出售此类高阶半导体设备，若是作为商业用途，则需要经过美国防部批准。
据宏力透露，在今年年初，美国防部曾派员到该公司调查进口微影设备用途，当美方了解到是为满足晶圆代工业务发展需要之商业用途，加上生产过程也有严密监控，才批准其从美进口微影设备。
中芯虽不愿证实接受美国防部调查，但中芯透露该公司目前已开始采用0.13微米制程为德州仪器代工。
分析家则认为，由于美国防部已经批准向中芯、宏力出售微影设备，并已了解到主要用途，确定不可能会转入军用，或许会促使美方在今年下半年完全解除对中国大陆的高阶半导体设备出口限制。
