Alpha 21264是当前可利用的最快的处理器。它提供了39.1整数和68.1浮点SPEC得分。因为可以是使用包括Linux和Windows NT在内的众多操作系统，很可能Alpha 21264可以用于取代Intel的CPU。（当然售价有点贵，带4Mb缓存的600MHz 21264卖到了3500美元。） 尽管Intel从Compaq/Digital合并中得到了好处，但Alpha 21364仍然会同Merced以至将来的McKinley进行直接的竞争。

　　 由于Compaq也认为当前的瓶颈在于内存的带宽问题。所以21364将从两个方面来解决这个问题，首先是整合1.5MB L2 cache进CPU，然后是使用带宽为6GB/s 的800MHz RAMbus内存。为了加强对SMP系统的支持，Alpha整合了在多CPU状态下CPU之间互相通讯所必须的网状接口。这些功能从主板上移到CPU上，可以增加给CPU-CPU的访问带宽增加10GB/s。到目前为止，我们很少能看到超过4个处理器的Alpha系统，然而21364将改变这个状况，16-32个CPU的系统非常具有竞争力。21364使用了超过1亿个晶体管。初次登场应该在2000年中期而且拥有1GHz的时钟频率。估计SPEC得分整数超过60，而浮点超过120。